Nano-Imprint Controlled Nucleation of Amorphous silicon for Single-Grain Thin Film Transistor
Nano-Imprint Controlled Nucleation of Amorphous silicon for Single-Grain Thin Film Transistor
复制标题
用于单晶薄膜晶体管的纳米压印控制非晶硅成核
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Asano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C.Shin;A.Baba;T.Asano;T.Asano
