小型イオンマイクロビーム装置用のデュオプラズマトロン型イオン源のイオン種分析

小型イオンマイクロビーム装置用のデュオプラズマトロン型イオン源のイオン種分析
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小离子微束装置双等离子源离子形态分析

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大久保 猛
大久保 猛
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
石井 保行;大久保 猛

文献摘要

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