Y.Sun,T.Miyasato et.al: "Outdiffusion of the Excess Carbon in SiC Films into Si substrate during Film Growth"Journal of Applied Physics. 84. 6451-6453 (1998)
Y.Sun,T.Miyasato et.al: "Outdiffusion of the Excess Carbon in SiC Films into Si substrate during Film Growth"Journal of Applied Physics. 84. 6451-6453 (1998)
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Y.Sun、T.Miyasato 等人：“薄膜生长过程中 SiC 薄膜中的过量碳向外扩散到硅衬底中”应用物理学杂志。
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