Ni/Si系におけるモノシリサイドとジシリサイドのマルチフェーズ形成
Ni/Si系におけるモノシリサイドとジシリサイドのマルチフェーズ形成
复制标题
Ni/Si体系中单硅化物和二硅化物的多相形成
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
徳田奨
中科院分区:
文献类型:
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作者:
野矢厚;武山真弓;佐藤勝;徳田奨