J.Yan, K.Syoji, J.Tamaki: "Crystallographic effects in micro/nanomachining of single-crystal calcium fluoride"Journal of Vacuum Science & Technology B : Microelectronics and Nanometer Structures. 22・1. 46-51 (2004)
J.Yan, K.Syoji, J.Tamaki: "Crystallographic effects in micro/nanomachining of single-crystal calcium fluoride"Journal of Vacuum Science & Technology B : Microelectronics and Nanometer Structures. 22・1. 46-51 (2004)
复制标题
J.Yan，K.Syoji，J.Tamaki：“单晶氟化钙微/纳米加工中的晶体学效应”真空科学与技术杂志B：微电子和纳米结构22・1（2004）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
