中性粒子ビーム励起錯体反応を用いたCoFeBエッチング
中性粒子ビーム励起錯体反応を用いたCoFeBエッチング
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使用中性粒子束激基复合物反应进行 CoFeB 蚀刻
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寒川 誠二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田 智広;美山 遼;菊地 良幸;寒川 誠二
