Generation of Amorphous SiO_2/SiC Interface and Dynamical Simulation of Interface Oxidation Process of SiC Device
Generation of Amorphous SiO_2/SiC Interface and Dynamical Simulation of Interface Oxidation Process of SiC Device
复制标题
非晶SiO_2/SiC界面的生成及SiC器件界面氧化过程的动态模拟
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.Miyashita;T.Ohnuma;M.Iwasawa;M.Yoshikawa;et al.
