A.Sekiguchi: "Formation of Slit-Like Voids at Trenth Corners of Damascene Cu Interconects"Materials Transactions. 43. 1633-1637 (2002)
A.Sekiguchi: "Formation of Slit-Like Voids at Trenth Corners of Damascene Cu Interconects"Materials Transactions. 43. 1633-1637 (2002)
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A.Sekiguchi：“在大马士革铜互连的 Trenth 角处形成狭缝状空隙”材料交易。
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