フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究
フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究
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飞秒激光器半导体晶片表面相干声子激发加工研究
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
林 照剛，横尾英昭，黒河周平，松永啓伍，王 成武，松川洋二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R.Tanegashima;I.Ohara;H.Akebono;M.Kato;A.Sugeta;中西康雅;林 照剛，横尾英昭，黒河周平，松永啓伍，王 成武，松川洋二
