液中プラズマ化学蒸着におけるプラズマ泡と基板の相互作用

液中プラズマ化学蒸着におけるプラズマ泡と基板の相互作用
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液体等离子体化学气相沉积中等离子体气泡与基底之间的相互作用

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
服部吉晃
服部吉晃
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
豊田洋通;飯坂康介;野村信福;向笠忍;服部吉晃

文献摘要

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