Applications of photopolymer resists to direct fabrication of three-dimensional micro-structures
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复制标题
光敏树脂抗蚀剂在三维微结构直接制造中的应用
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Akira Yanagida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toshiyuki Horiuchi;Noa Kobayashi;Yuta Morizane;Ryunosuke Sasaki;Maiko Kurata;Satoshi Miyazawa;Kouta Shimizu;Hiroshi Kobayashi;Akira Yanagida
