CORDIS—an improved high-current ion source for gases
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CORDIS——改进的气体高电流离子源
DOI：
10.1016/0042-207x(84)90102-7
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发表时间：
1984
期刊：
Vacuum
影响因子：
4
通讯作者：
M
M
中科院分区：
材料科学2区
文献类型：
--
作者：
R. Keller;F. Nöhmayer;P. Spädtke;M
文献摘要
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