シリコン基板で遮蔽された金属微細パターンの近赤外イメージング

シリコン基板で遮蔽された金属微細パターンの近赤外イメージング
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硅基板屏蔽的金属微图案的近红外成像

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大野誠吾
大野誠吾
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
犬塚大介;四方潤一;大野誠吾

文献摘要

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