N.Y.Sato: "Control of Ion Energy for Low-Damage Plasma Processing in RF Discharge" To be published in J,n.J.Appl.Phys.34. (1995)
N.Y.Sato: "Control of Ion Energy for Low-Damage Plasma Processing in RF Discharge" To be published in J,n.J.Appl.Phys.34. (1995)
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N.Y.Sato：“射频放电中低损伤等离子体处理的离子能量控制”将发表在 J,n.J.Appl.Phys.34 上。
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