Modal characteristics of coupled MEMS resonator array under the effect of residual stress - ScienceDirect
Modal characteristics of coupled MEMS resonator array under the effect of residual stress - ScienceDirect
复制标题
残余应力影响下耦合MEMS谐振器阵列的模态特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Zhang W. M.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Peng B.;Hu K. M.;Fang X. Y.;Li X. Y.;Zhang W. M.
