Deposition of ODA-PMDA types of polyimide thin film inside a microscopic-scale space using supercritical carbon dioxide
Deposition of ODA-PMDA types of polyimide thin film inside a microscopic-scale space using supercritical carbon dioxide
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使用超临界二氧化碳在微观空间内沉积 ODA-PMDA 类型的聚酰亚胺薄膜
DOI：
10.1016/j.supflu.2015.02.016
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发表时间：
2015
影响因子：
3.9
通讯作者：
Shigeki Takishima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masashi Haruki;Y. Hasegawa;S. Kihara;Shigeki Takishima
