Metal-coated MEMS X-ray Optics using atomic layer deposition
Metal-coated MEMS X-ray Optics using atomic layer deposition
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使用原子层沉积的金属涂层 MEMS X 射线光学器件
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Mitsuda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Ishi;Y. Ezoe;M. Numazawa;A. Fukushima;R. Otsubo;H. Suzuki;T. Yuasa;S. Sakuda;T. Uchino;K. Ishikawa;K. Mitsuda
