窒素ラジカル変調制御法による窒素含有化合物半導体多層積層体の製造方法
窒素ラジカル変調制御法による窒素含有化合物半導体多層積層体の製造方法
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使用氮自由基调制控制法的含氮化合物半导体多层层叠体的制造方法
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发表时间：
2006
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