石島達夫, 菅井秀郎他1名: "Effects of metastable atom contribution to Electron Temperature and radical composition in Fluorocarbon plasmas"Abstracts of Frontiers of Surface Engineering 2001. 208 (2001)
石島達夫, 菅井秀郎他1名: "Effects of metastable atom contribution to Electron Temperature and radical composition in Fluorocarbon plasmas"Abstracts of Frontiers of Surface Engineering 2001. 208 (2001)
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Tatsuo Ishijima、Hideo Sugai 和其他 1 人：“亚稳态原子对氟碳等离子体中电子温度和自由基组成的影响” 摘要表面工程前沿 2001. 208 (2001)
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