H.Takikawa: "Synthesis of a-axis-oriented AlN film by a shielded reactive vacuum arc deposition method"Surface and Coatings Technology. 120/121. 383-387 (1999)
H.Takikawa: "Synthesis of a-axis-oriented AlN film by a shielded reactive vacuum arc deposition method"Surface and Coatings Technology. 120/121. 383-387 (1999)
复制标题
H.Takikawa：“采用屏蔽反应真空电弧沉积法合成a轴取向AlN薄膜”表面与涂层技术。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
