扇形圧電振動子を用いた薄型マイクロ超音波モータ
扇形圧電振動子を用いた薄型マイクロ超音波モータ
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采用扇形压电振子的薄型微型超声波电机
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神田岳文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kanda;Y. Matsunaga;K. Suzumori;矢野智昭;Takefumi Kanda;Tomoaki YANO;杉野真哉;神田岳文
