反応性スパッタ法によって得られたZrN 膜上のCu(111)高配向化
反応性スパッタ法によって得られたZrN 膜上のCu(111)高配向化
复制标题
反应溅射获得 ZrN 薄膜上高度取向的 Cu(111)
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
武山 真弓
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤 勝;武山 真弓
