A New Simulation Approach to Control Plasma Uniformities
A New Simulation Approach to Control Plasma Uniformities
复制标题
控制等离子体均匀性的新模拟方法
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y.Yasaka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
A.Tsuji;Y.Yasaka
