Low-temperature atomic layer deposition of AlN explained by infrared absorption spectroscopy
Low-temperature atomic layer deposition of AlN explained by infrared absorption spectroscopy
复制标题
红外吸收光谱解释 AlN 的低温原子层沉积
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shigeru Kubota and Fumihiko Hirose
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kentaro Saito;Masanori Miura;Kensaku Kanomata;Bashir Ahmmad;Shigeru Kubota and Fumihiko Hirose
