エッチング時間改善を目指した紫外線照射済み固体飛跡検出器の開発
エッチング時間改善を目指した紫外線照射済み固体飛跡検出器の開発
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开发紫外线照射固态径迹检测器旨在缩短蚀刻时间
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小山 征野，石川 一平，清原 修二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石川聡子;上出吉則;江藤亮;向井大喜;吉岡利浩;渡邉美香;小山 征野，石川 一平，清原 修二
