DESIGN CONCERNS FOR TIP-BASED MEASUREMENT TOWARDS PROCESS METROLOGY IN ROLL-TO-ROLL NANOMANUFACTURING
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复制标题
卷对卷纳米制造中基于尖端测量的工艺计量设计问题
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Cullinan, Michael
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Connolly, Liam G.;Groh, Barbara;Garcia, James A.;Cullinan, Michael
