CH3CNのArマイクロ波プラズマ分解で生成したa-CNx:H薄膜の構造解析
CH3CNのArマイクロ波プラズマ分解で生成したa-CNx:H薄膜の構造解析
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氩微波等离子体分解CH3CN制备a-CNx:H薄膜的结构分析
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
関崎千歳，董福，斎藤秀俊，伊藤治彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
飯澤仁規;斎藤秀俊;伊藤治彦;関崎千歳，董福，斎藤秀俊，伊藤治彦
