Sidewall quality in proton beam writing
Sidewall quality in proton beam writing
复制标题
质子束写入中的侧壁质量
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
F. Watt
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Chiam;J. A. Kan;T. Osipowicz;C. Udalagama;F. Watt
