権田俊一: "薄膜作製応用ハンドブック" エヌ・ティー・エス, 1187 (1995)
権田俊一: "薄膜作製応用ハンドブック" エヌ・ティー・エス, 1187 (1995)
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贡田俊一：《薄膜制造应用手册》NTS，1187 (1995)
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