反応性プラズマ支援成膜法により形成したBN 膜の構造と化学結合状態分析
反応性プラズマ支援成膜法により形成したBN 膜の構造と化学結合状態分析
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反应等离子体辅助沉积法BN薄膜的结构和化学键态分析
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
江利口浩二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長谷川繁彦;野間正男;山下満;江利口浩二
