超精密加工と表面科学 －原子レベルの生産技術－「大気圧プラズマ化学輸送法」
超精密加工と表面科学 －原子レベルの生産技術－「大気圧プラズマ化学輸送法」
复制标题
超精密加工与表面科学-原子级生产技术-“大气压等离子体化学传输法”
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
大参宏昌 分筆
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
篠田史也，垣内弘章，安武潔，大参宏昌;大参宏昌;大参宏昌 分筆
