Polycrystalline Silicon Films with Nanometer-Sized Dense Fine Grains Formed by Flash-Lamp-Induced Crystallization
Polycrystalline Silicon Films with Nanometer-Sized Dense Fine Grains Formed by Flash-Lamp-Induced Crystallization
复制标题
闪光灯诱导结晶形成的具有纳米级致密细晶粒的多晶硅薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
影响因子：
--
通讯作者：
Hideki Matsumura
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Keisuke Ohdaira;Shohei Ishii;Naohito Tomura;Hideki Matsumura
