Force Control for Hybrid Electric-Pneumatic Ultra-Precision Vertical Positioning Device
Force Control for Hybrid Electric-Pneumatic Ultra-Precision Vertical Positioning Device
复制标题
电-气混合超精密垂直定位装置的力控制
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kohei Shimazaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomonori Kato;Tomohiro Tanaka;Youwei Xu;Kohei Shimazaki
