High-quality gate-stack formation on Ge and defect termination at the interface

High-quality gate-stack formation on Ge and defect termination at the interface
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在 Ge 上形成高质量栅堆叠并在界面处终止缺陷

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
D. Wang
D. Wang
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H. Nakashima;K. Hirayama;K. Yamamoto;H. Yang;D. Wang

文献摘要

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