水素プラズマを用いた銅ドライエッチングにおける添加ガス効果
水素プラズマを用いた銅ドライエッチングにおける添加ガス効果
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使用氢等离子体的铜干法蚀刻中添加气体效应
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大参宏昌，佐藤純平，久保田雄介，平野達也，垣内弘章，安武潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大参宏昌，佐藤純平，久保田雄介，平野達也，垣内弘章，安武潔
