熱エッチングによる高濃度n型SiC(0001)基板におけるエッチピット解析
熱エッチングによる高濃度n型SiC(0001)基板におけるエッチピット解析
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高浓度n型SiC(0001)衬底热刻蚀蚀坑分析
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清水 智也;他
