タングステンHot-Wireで活性化したH2/O2混合ガスによるノボラック系ポジ型レジストの除去速度低下の原因の検討
タングステンHot-Wireで活性化したH2/O2混合ガスによるノボラック系ポジ型レジストの除去速度低下の原因の検討
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钨热丝活化H2/O2混合气体酚醛清漆正性抗蚀剂去除速度降低原因的研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山本雅史;秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫
