Y.Watamabe: "Experimental Investigation of Particulate Formation in He-SiH_4 Modulated RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 286-290 (1994)
Y.Watamabe: "Experimental Investigation of Particulate Formation in He-SiH_4 Modulated RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 286-290 (1994)
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Y.Watamabe：“He-SiH_4 调制射频放电中颗粒形成的实验研究”等离子源 Sci.Technol.3。
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