熱酸化による透明ナノインプリント用金型の作製
熱酸化による透明ナノインプリント用金型の作製
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热氧化透明纳米压印模具的制作
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野田大二,徳岡篤,服部正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomonori Kato;Genki Higashijima;Katsutoshi Tanaka;Takanori Yazawa;Tatsuki Otsubo;Yusuke Nozaki;野田大二,徳岡篤,服部正
