Improving superconducting characteristics of ALD-NbN films by Rapid Thermal Annealing (RTA) process
Improving superconducting characteristics of ALD-NbN films by Rapid Thermal Annealing (RTA) process
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通过快速热退火 (RTA) 工艺改善 ALD-NbN 薄膜的超导特性
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masataka Ohkubo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masahiro Ukibe;Go Fujii;Shigetomo Shiki;Masataka Ohkubo
