Zero temperature coefficient of sound velocity in vitreous silicon oxynitride thin films
Zero temperature coefficient of sound velocity in vitreous silicon oxynitride thin films
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玻璃态氮氧化硅薄膜中声速的零温度系数
DOI：
10.1063/1.5098354
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发表时间：
2019
影响因子：
4
通讯作者：
and H. Ogi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Nagakubo;S. Tsuboi;Y. Kabe;S. Matsuda;A. Koreeda;Y. Fujii;and H. Ogi
