Thin SiO2 under-cladding layer for SiNx optical waveguides on bulk Si substrate
Thin SiO2 under-cladding layer for SiNx optical waveguides on bulk Si substrate
复制标题
体硅衬底上 SiNx 光波导的薄 SiO2 下包层
DOI：
--
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and Yasuhiko Ishikawa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Ryota Oyamada;Motoki Yako;and Yasuhiko Ishikawa
