Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining
Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining
复制标题
通过前端体微机械加工获得的 CMOS MEMS 结构的可靠性分析
DOI：
10.1016/s0026-2714(02)00230-5
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
C. Oudéa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Dardalhon;V. Beroulle;L. Latorre;P. Nouet;G. Perez;J. Nicot;C. Oudéa
