Au-Catalyst Induced Low Temperature(~ 250oC) Layer Exchange Crystallization for SiGe On Insulator

Au-Catalyst Induced Low Temperature(~ 250oC) Layer Exchange Crystallization for SiGe On Insulator
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Au 催化剂诱导绝缘体上 SiGe 的低温(~ 250oC)层交换结晶

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
ECS Transactions
影响因子:
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通讯作者:
and T. Sadoh
and T. Sadoh
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
J.-H. Park;M. Kurosawa;N. Kawabata;M. Miyao;and T. Sadoh

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