低气压射频空心阴极放电氩等离子体发射光谱分析

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发表时间:
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期刊:
真空科学与技术学报
影响因子:
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通讯作者:
田修波
田修波
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
许建平;巩春志;田修波

文献摘要

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