気相反応抑制下におけるAlN高温成長の最適化のためのV/III比依存性
気相反応抑制下におけるAlN高温成長の最適化のためのV/III比依存性
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气相反应抑制下 AlN 高温生长优化的 V/III 比例依赖性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
永松 謙太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
富田 敦之;宮川 拓己;平山 秀樹;髙島 祐介;直井 美貴;永松 謙太郎
