作製プロセスを簡略化したMOS電界効果トランジスタの作製と評価
作製プロセスを簡略化したMOS電界効果トランジスタの作製と評価
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简化制作工艺的MOS场效应晶体管的制作与评估
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
冨田昌吾,辻琢人,長岡史郎,大谷真弘,若原昭浩
中科院分区:
文献类型:
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作者:
T. Tsuji;S. Nagaoka;M. Ohtani;and A. Wakahara;冨田昌吾,辻琢人,長岡史郎,大谷真弘,若原昭浩