Electrostatic Vibrational MEMS Energy Harvester with Thin Film Electrets
Electrostatic Vibrational MEMS Energy Harvester with Thin Film Electrets
复制标题
具有薄膜驻极体的静电振动 MEMS 能量收集器
DOI：
10.1380/vss.63.223
复制
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
G. Hashiguchi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H. Toshiyoshi;H. Honma;H. Mitsuya;G. Hashiguchi
