磁控溅射参数及基片材料对铜薄膜结合强度的影响
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DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
薛青
中科院分区：
文献类型：
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作者：
陈瑞芳;倪泽炎;花银群;薛青
