金属ハライドを原料とした金属薄膜の気相選択形成
金属ハライドを原料とした金属薄膜の気相選択形成
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以金属卤化物为原料气相选择性形成金属薄膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山内智
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Gento Toyoda;Satoshi Yamauchi;Takashi Fuse;Yusuke Kubota;山内智
